在医疗领域应用的等离子体灭菌技术于20世纪80年代始于美国，Menashi等首先提出卤素类气体等离子体具有很强的杀菌作用，可用于非耐热医疗器械的快速灭菌，低温等离子体灭菌技术1987年获得。
美国强生公司研制的Starrad 100S过氧化氢等离子体灭菌器，于1997年经FDA批准上市。现已在欧美、日本等发达国家医疗机构微创手术中广泛使用。
2004年开始在我国推广宣传，已有几十家大型医疗单位开始使用。由此也使得等离子体低温灭菌技术在我国医疗领域的使用得到广泛的认同。